| 四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展 | |
| 张丹辉; 唐安江; 韦德举; 黄崇 | |
| 2018 | |
| 期号 | 2页码:486-489+493 |
| 关键词 | 四氟化硅 杂质检测 杂质净化 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5840289 |
| 专题 | 贵州理工学院 |
| 作者单位 | 1.[1]贵州大学化学与化工学院 2.[2]贵州理工学院化学工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张丹辉,唐安江,韦德举,等. 四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展[J],2018(2):486-489+493. |
| APA | 张丹辉,唐安江,韦德举,&黄崇.(2018).四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展.(2),486-489+493. |
| MLA | 张丹辉,et al."四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展"..2(2018):486-489+493. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论