| 脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究 | |
| 苟伟; 李剑锋; 楚信谱; 张礼平; 李国卿 | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2008 | |
| 卷号 | 28页码:33-37 |
| 关键词 | 脉冲放电 等离子体辅助化学气相沉积法 类金刚石碳膜 Raman光谱 表面形貌 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5602443 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 2.大连交通大学,大连,116028 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苟伟,李剑锋,楚信谱,等. 脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究[J]. 真空科学与技术学报,2008,28:33-37. |
| APA | 苟伟,李剑锋,楚信谱,张礼平,&李国卿.(2008).脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究.真空科学与技术学报,28,33-37. |
| MLA | 苟伟,et al."脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究".真空科学与技术学报 28(2008):33-37. |
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