| 液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究 | |
| 梁秀萍; 冯秋菊; 张贺秋; 田怡春; 张红治; 孙晓娟; 胡礼中 | |
| 刊名 | 光电子·
 ; 激光
|
| 2008 | |
| 卷号 | 19页码:1490-1492 |
| 关键词 | 液相外延 微探尖 湿法刻蚀 扫描近场光学显微术 |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5602146 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024 2.辽宁师范大学物理与电子技术学院,辽宁,大连,116029 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁秀萍,冯秋菊,张贺秋,等. 液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究[J]. 光电子·, 激光,2008,19:1490-1492. |
| APA | 梁秀萍.,冯秋菊.,张贺秋.,田怡春.,张红治.,...&胡礼中.(2008).液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究.光电子·,19,1490-1492. |
| MLA | 梁秀萍,et al."液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究".光电子· 19(2008):1490-1492. |
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