| 题名 | MOCVD生长Ⅲ族氮化物的热扩散和气相反应速率模拟研究 |
| 作者 | 汪文鹄[1] |
| 答辩日期 | 2015 |
| 授予单位 | 江苏大学 |
| 关键词 | 氮化物 金属有机化学气相沉积 热扩散性能 化学反应速率 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5386831 |
| 专题 | 江苏大学 |
| 作者单位 | 江苏大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪文鹄[1]. MOCVD生长Ⅲ族氮化物的热扩散和气相反应速率模拟研究[D]. 江苏大学. 2015. |
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