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	用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法
	刘益春; 李炳生; 马剑钢; 吕有明; 申德振
	2004-06-09
著作权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
专利号	CN1153304C
国家	中国
文献子类	授权发明
其他题名	用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法
英文摘要	本发明涉及用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法。在不同衬底上通过高温热氧化氮化锌单晶薄膜获得p-型氧化锌材料，通过控制氧化温度与热氧化时间来控制p-型氧化锌材料的受主杂质浓度。利用高温条件下氧易于替代立方反铁锰矿结构氮化锌中的氮，并形成六方结构p-型氧化锌，可实现氮的替位掺杂形成p-型氧化锌，并通过热氧化氮化锌薄膜制备出受主浓度为6×1016-4×1018·cm-3的具有六方结构的p-型氧化锌薄膜材料。方法简单，实验条件可控，可实现对p-型氧化锌电学性质和载流子浓度的控制，以满足制备氧化锌P-N结材料和光电子器件等方面的需要，可用于制备氧化锌紫外发光管、激光二极管、紫外探测器。
公开日期	2004-06-09
申请日期	2002-08-29
状态	失效
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42548]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘益春,李炳生,马剑钢,等. 用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法. CN1153304C. 2004-06-09.

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