| 用於掃頻源光學相干層析成像系統的波長可調諧垂直腔面發射激光器 | |
| T.牧野; T.李; D.尤 | |
| 2019-08-30 | |
| 著作权人 | 英菲尼斯有限責任公司 |
| 专利号 | HK1224090A1 |
| 国家 | 中国香港 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 用於掃頻源光學相干層析成像系統的波長可調諧垂直腔面發射激光器 |
| 英文摘要 | 一种使用微机电系统(MEMS)技术的波长可调谐的垂直腔面发射激光器(VCSEL)被设置为用于光学相干层析成像(OCT)的扫频源。所述波长可调谐VCSEL包括VCSEL的底部反射镜、有源区、以及通过静电偏转而可移动的MEMS可调谐上部反射镜。所述底部反射镜包括GaAs基分布的布拉格反射镜(DBR)叠层，以及所述有源区包括多个GaAs基量子点(QD)层的叠层，所述有源层在GaAs衬底上外延生长。所述MEMS可调谐上部反射镜包括由悬挂梁支撑的膜部、以及包含介电DBR叠层的上部反射镜。所述MEMS可调谐量子点VCSEL能覆盖超过100nm的操作波长范围，优选具有250nm和1950nm之间的中心波长，并且扫描速率能从几kHz到几百kHz、以及高达几MHz。 |
| 公开日期 | 2019-08-30 |
| 申请日期 | 2016-10-19 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38927]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 英菲尼斯有限責任公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | T.牧野,T.李,D.尤. 用於掃頻源光學相干層析成像系統的波長可調諧垂直腔面發射激光器. HK1224090A1. 2019-08-30. |
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