| 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 | |
| 张星; 钟础宇; 张建伟; 宁永强; 王立军 | |
| 2019-07-23 | |
| 著作权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 专利号 | CN106887788B |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层，功能辅助层和P型DBR层构成台面结构；P型DBR层设置有沟道；台面结构被沟道分割成多个次台面结构；各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极，这样利用沟道可以形成多个波导，使载流子分布和波导联系起来，进而实现单个电极独立控制单个模式输出，多个电极混合控制少数模式输出。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，可以直接在台面结构上刻蚀形成沟道，实现了新的模式控制方式，且由于所有模式都在一个台面上输出，可以直接与光纤耦合，省去复用器的使用。 |
| 公开日期 | 2019-07-23 |
| 申请日期 | 2017-04-27 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38751]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张星,钟础宇,张建伟,等. 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法. CN106887788B. 2019-07-23. |
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