| 一种用于转台六项几何误差测量装置 | |
| 石照耀; 宋辉旭; 陈洪芳; 孙衍强 | |
| 2019-06-28 | |
| 著作权人 | 北京工业大学 |
| 专利号 | CN107607041B |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种用于转台六项几何误差测量装置 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种用于转台六项几何误差高效测量装置，该装置利用一个十二面棱镜，两个激光二极管组件和两个位置传感器组件测量转台的三个角度量误差(EAC，EBC，ECC)；利用一个标准球，一个激光干涉仪组件，一个激光二极管组件和两个位置传感器组件测量转台的三个位移量误差(EXC，EYC，EZC)。在测量的过程中，标准件套件同轴地固定在转台上，并且在转台的一次全周回转运动中，该测量装置能够将转台的六项几何误差一次性全部测量出来。本发明提供的转台六项几何误差高效测量装置能够有效地提高转台几何误差的测量效率。 |
| 公开日期 | 2019-06-28 |
| 申请日期 | 2017-09-21 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38670]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 石照耀,宋辉旭,陈洪芳,等. 一种用于转台六项几何误差测量装置. CN107607041B. 2019-06-28. |
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