环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究

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	环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究
	王孝坤 ; 张学军 ; 王丽辉 ; 郑立功
刊名	光学精密工程
	2006-08-30
期号	4
关键词	环形子孔径拼接非球面检验干涉术 Zernike多项式拟合计算机模拟
ISSN号	1004-924X
中文摘要	利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24214]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王孝坤,张学军,王丽辉,等. 环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究[J]. 光学精密工程,2006(4).
APA	王孝坤,张学军,王丽辉,&郑立功.(2006).环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究.光学精密工程(4).
MLA	王孝坤,et al."环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究".光学精密工程 .4(2006).