高精度光纤变维器的制作及测试研究

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	高精度光纤变维器的制作及测试研究
	梁静秋
刊名	光学学报
	2010-09-01
卷号	30 期号:12 页码:3425-3429
ISSN号	0253-2239
中文摘要	为解决光谱分析及超光谱成像、医学和军事侦察等系统应用中有序密排光纤变维器(OFDTE)存在的定位精度低的问题,利用单晶硅材料的晶格特点和微机电系统(MEMS)的精确定位技术,提出了制作高精度光纤变维器的光纤平面排布方法。分析了系统误差,研究了光纤排列、固化、研磨抛光及封装工艺,制作了2000根光纤的1×2光纤变维器。测量结果为线列端长度累计误差为0.5μm;局部高度误差小于0.15μm;器件端面表面粗糙度均方根值小于0.9nm;在2000周期范围内,光纤阵列端面纵向位置误差最大值为190.5nm;表面未镀膜的光纤变维器的透射率为51.46%。经过随机振动后,器件的断丝率增加0.1%。通过-40℃～40℃温度循环实验,器件结构及性能未发生变化。
收录类别	EI
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23622]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋. 高精度光纤变维器的制作及测试研究[J]. 光学学报,2010,30(12):3425-3429.
APA	梁静秋.(2010).高精度光纤变维器的制作及测试研究.光学学报,30(12),3425-3429.
MLA	梁静秋."高精度光纤变维器的制作及测试研究".光学学报 30.12(2010):3425-3429.