| 硅单晶生长工艺参数建模及多目标优化 | |
| 黄伟超; 刘丁 | |
| 2017 | |
| 卷号 | 46页码:2095-2101 |
| 关键词 | 晶体生长 工艺参数优化 计算流体动力学 第二代非支配排序遗传算法 多目标优化 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| DOI | 10.3969/j.issn.1000-985X.2017.11.001 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4976794 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄伟超,刘丁. 硅单晶生长工艺参数建模及多目标优化[J],2017,46:2095-2101. |
| APA | 黄伟超,&刘丁.(2017).硅单晶生长工艺参数建模及多目标优化.,46,2095-2101. |
| MLA | 黄伟超,et al."硅单晶生长工艺参数建模及多目标优化".46(2017):2095-2101. |
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