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题名	3C-SiC薄膜剥离技术及其表面钝化研究
作者	张旭辉
答辩日期	2018
授予单位	西安理工大学
导师	杨莺 ; 祝保卫
关键词	3C-SiC 薄膜剥离 湿法刻蚀 阳极氧化 S钝化
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4974413
专题	西安理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张旭辉. 3C-SiC薄膜剥离技术及其表面钝化研究[D]. 西安理工大学. 2018.

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