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	Study on Lubricating Behavior in Chemical Mechanical Polishing
	Su JX(苏建修); Du, J.X.; Liu, X.L.; Liu, H.N.; Kang RK(康仁科)
	2011
会议名称	ADVANCES IN GRINDING AND ABRASIVE TECHNOLOGY XVI
页码	243-247
会议录	ADVANCES IN GRINDING AND ABRASIVE TECHNOLOGY XVI
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4845502
专题	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Su JX,Du, J.X.,Liu, X.L.,et al. Study on Lubricating Behavior in Chemical Mechanical Polishing[C]. 见:ADVANCES IN GRINDING AND ABRASIVE TECHNOLOGY XVI.

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