| 题名 | 容性耦合硅烷放电中纳米尺度尘埃颗粒生长机制及输运过程模拟 |
| 作者 | 刘相梅 |
| 答辩日期 | 2011 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 宋远红 |
| 关键词 | 尘埃等离子体 容性耦合等离子体 硅烷放电 流体力学模拟 尘埃颗粒形成机制 |
| 学位名称 | 博士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4829017 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘相梅. 容性耦合硅烷放电中纳米尺度尘埃颗粒生长机制及输运过程模拟[D]. 大连理工大学. 2011. |
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