| 立方氮化硼厚膜制备及表征 | |
| 王明娥; 巩水利; 董闯 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 上海 |
| 关键词 | 立方氮化硼 厚膜 防护涂层 纳米硬度 薄膜硬度 过渡层 反应磁控溅射 基片温度 压应力 靶材 |
| 页码 | 239-239 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4629122 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学材料科学与工程学院 大连116024 2.北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京100024 3.北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京100024 4.大连理工大学材料科学与工程学院 大连116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王明娥,巩水利,董闯. 立方氮化硼厚膜制备及表征[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会. 上海. 2013-08-15. |
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