| 题名 | 金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工艺 |
| 作者 | 鲍其雷 |
| 答辩日期 | 2015 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 杜立群 |
| 关键词 | 金属微光栅 金属微柱阵列结构 制作工艺 高温灰化 边珠效应 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4418512 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲍其雷. 金属微光栅及金属微柱阵列结构的制作工艺[D]. 大连理工大学. 2015. |
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