用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质

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	用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质
	孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚
刊名	材料研究学报
	2003-04-25
期号	2 页码:180-185
关键词	无机非金属材料 SnO_2薄膜激光烧结灵敏度气敏特性丙酮
中文摘要	用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO_2颗粒均匀,直径约为10nm。用激光烧结法制备的SnO_2薄膜对浓度为1.80×10~(-4)丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO_2薄膜的灵敏度。激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26133]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚. 用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质[J]. 材料研究学报,2003(2):180-185.
APA	孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚.(2003).用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质.材料研究学报(2),180-185.
MLA	孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚."用激光烧结法制备的SnO_2薄膜的气敏性质".材料研究学报 .2(2003):180-185.