铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能

CORC > 金属研究所 > 中国科学院金属研究所

	铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能
	贾波 ; 苏革 ; 刘天中 ; 曹立新 ; 柳伟 ; 孙武珠 ; 董征 ; 王景
刊名	材料导报
	2010-05-25
期号	S1 页码:340-342+351
关键词	溶胶-凝胶法铝离子掺杂氧化锌透光率
中文摘要	运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺,在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征;采用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光性能进行了研究。结果表明,所制备的氧化锌薄膜为六方纤锌矿结构,沿c轴方向择优生长;铝离子的掺杂没有改变氧化锌的基本结构,所掺杂的铝离子为取代锌离子的替位掺杂;热处理后,氧化锌颗粒为六角形针(柱)状形貌;随着热处理温度的升高,薄膜的透光率增大;经600℃热处理后随着铝离子掺杂浓度的增加,薄膜的透光率先增大后减小,当铝离子掺杂浓度为2%时透光率最大;当铝离子掺杂浓度较大时,晶格畸变的影响使薄膜的透光率减小。当溶胶浓度为0.6mol/L、铝离子掺杂浓度为2%和热处理温度为600℃时,所制备薄膜的质量和性能最好。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/23798]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	贾波,苏革,刘天中,等. 铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能[J]. 材料导报,2010(S1):340-342+351.
APA	贾波.,苏革.,刘天中.,曹立新.,柳伟.,...&王景.(2010).铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能.材料导报(S1),340-342+351.
MLA	贾波,et al."铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能".材料导报 .S1(2010):340-342+351.