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题名	FRP材料表面溅射铝膜
作者	庄祎哲
学位类别	硕士
答辩日期	1987
授予单位	中国科学院金属研究所
授予地点	中国科学院金属研究所
导师	韩耀文
中文摘要	本文在探索用物理汽相沉积（Physic Vapor Deposition）方法在纤维增强树脂复全材料（FRP） 表面镀铝的基础上，比较成功地采用磁控溅射离子镀（MSIP） + 磁控溅射（MS）的沉积方法实现了FRP材料表面金属化。实验结果表明：MSIP + MS工艺既可获得满意的膜基结合强度又可避免镀膜过程的温升对基片性能的影响，是一种很有前途的工艺。采用较小的功率，较高的真空度（低氩氯压强）沉积有利于膜基吸附和改善薄膜组织，消除残余应力，提高薄膜强度和膜基结合强度。沉积后期MSIP阶段基板加负偏压有利于膜基结合这是由高压产生的荷能粒子作用的结果。这种作用导致界面两侧原子间的接触成或形成界面层。性能测试结果表明：表面镀铝膜的FRP材料具有电阻率小，漏气率低和一定的耐蚀能力等金属性能，可望获得更有效的应用。
语种	中文
公开日期	2012-04-10
页码	52
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/17287]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	庄祎哲. FRP材料表面溅射铝膜[D]. 中国科学院金属研究所. 中国科学院金属研究所. 1987.

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