| 氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响 | |
| 刘月; 郑智; 张伟平; 郑中成; 沈震宇; 郭立平 | |
| 刊名 | 武汉大学学报（理学版）
 |
| 2017 | |
| 卷号 | 63期号:4 |
| 关键词 | 离子辐照 氢氦协同作用 |
| ISSN号 | 1671-8836 |
| DOI | 10.14188/j.1671-8836.2017.04.010 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 收录类别 | CSCD ; CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3981741 |
| 专题 | 武汉大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘月,郑智,张伟平,等. 氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响[J]. 武汉大学学报（理学版）,2017,63(4). |
| APA | 刘月,郑智,张伟平,郑中成,沈震宇,&郭立平.(2017).氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响.武汉大学学报（理学版）,63(4). |
| MLA | 刘月,et al."氢氦离子辐照对4H-SiC表面形貌的影响".武汉大学学报（理学版） 63.4(2017). |
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