| 题名 | MEMS电容式高Q值加速度传感器闭环检测电路研究 |
| 作者 | 孙腾 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录峰 |
| 关键词 | 高Q值 加速度传感器 闭环检测电路 力反馈 ΣΔ技术 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 基于MEMS技术的加速度传感器以其精度高，体积小，易于检测等优点得到了广泛的发展与应用。石油勘探等领域要求加速度传感器要具有极低的噪声，因此需要传感器要在真空条件下封装、具有很高的Q值。本论文针对高Q值MEMS电容式加速度传感器的闭环检测技术进行了深入的研究。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82449]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙腾. MEMS电容式高Q值加速度传感器闭环检测电路研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
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