气体探测用低功耗微型加热器研究

	气体探测用低功耗微型加热器研究
	许磊 ; 李铁 ; 高秀丽 ; 王跃林
刊名	测试技术学报
	2010
期号	05
关键词	锂离子动力电池电池管理系统分时并联式采样 SOC估算
ISSN号	1671-7449
中文摘要	介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400℃时功耗仅为26 mW,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52457]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	许磊,李铁,高秀丽,等. 气体探测用低功耗微型加热器研究[J]. 测试技术学报,2010(05).
APA	许磊,李铁,高秀丽,&王跃林.(2010).气体探测用低功耗微型加热器研究.测试技术学报(05).
MLA	许磊,et al."气体探测用低功耗微型加热器研究".测试技术学报 .05(2010).