几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究

	几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究
	薛伟 ; 郑蓓蓉 ; 张淼 ; 解国新 ; 王权
刊名	物理学报
	2009
期号	04
关键词	短波近红外 InGaAs 焦平面组件读出电路
ISSN号	1000-3290
中文摘要	对微机电系统(MEMS)中几种常用构件材料的表面能及其主要影响因素进行了探讨,并与材料表面的纳观黏附性能进行了分析比较.用Owens二液法计算出硅基材料的表面能在60—75mJ/m2之间,它们之间总表面能的差异主要归结为表面能极性分量的差异,表面粗糙度的存在使表观表面能有所偏高.施加自组装分子膜后的表面能大为降低,粗糙度的存在可以使其表面能进一步减小.纳观黏附力和表面能之间有一定的对应关系.另外,在研究中发现表面粗糙度对纳观黏附行为的影响较小.
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52213]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	薛伟,郑蓓蓉,张淼,等. 几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究[J]. 物理学报,2009(04).
APA	薛伟,郑蓓蓉,张淼,解国新,&王权.(2009).几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究.物理学报(04).
MLA	薛伟,et al."几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究".物理学报 .04(2009).