一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造

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	一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造
	陈雪萌 ; 宋朝晖 ; 李欣昕 ; 王跃林 ; 张鲲 ; 焦继伟 ; 杨恒
刊名	传感器技术
	2004
期号	12
关键词	相变型半导体存储器相变材料器件设计器件失效
ISSN号	1000-9787
中文摘要	设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50444]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陈雪萌,宋朝晖,李欣昕,等. 一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造[J]. 传感器技术,2004(12).
APA	陈雪萌.,宋朝晖.,李欣昕.,王跃林.,张鲲.,...&杨恒.(2004).一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造.传感器技术(12).
MLA	陈雪萌,et al."一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造".传感器技术 .12(2004).