| 具有非均匀线间距加热电阻丝的矩形微型加热器及方法 | |
| 许磊 ; 李铁 ; 王跃林 | |
| 2011-11-23 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102256386A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种具有非均匀线间距加热电阻丝的矩形微型加热器及方法，所述微型加热器包括：衬底框架，矩形加热膜区，支撑悬梁，梯形过渡区，折线形加热电阻丝，引线，接触电极，和隔热腔体。其特征在于矩形加热膜区通过过渡区和支撑悬梁与衬底框架相连，折线形加热电阻丝以线间距按照在加热膜区中心处稀疏、在加热膜区两端处稠密的方式排布在矩形加热膜区上，并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的接触电极相连，在矩形加热膜区和支撑悬梁的下方是隔热腔体。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2011-11-23 |
| 申请日期 | 2011-05-20 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201110132563.2 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49714]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许磊,李铁,王跃林. 具有非均匀线间距加热电阻丝的矩形微型加热器及方法. CN102256386A. 2011-11-23. |
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