单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法 | |
张永刚 ; 李爱珍 ; 齐鸣 ; 封松林 | |
2007-04-11 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN1945284 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及一种单片双芯或多芯半导体激光气体传感器,其特征在于它 由封装于同一管壳热沉上的制作于同一单片衬底上的激光器芯组成的单片 双芯或多芯激光器、用于热沉温度控制的热电控温电路、时分驱动电路、用 于吸收和参比光信号探测的光电探测器、放大及时分解调电路、以及比较电 路和显示输出电路组成。本发明利用目标气体对吸收激光器产生的特定波长 激光的吸收特性进行气体浓度测量,也利用目标气体对参比激光器产生的相 近特定波长激光的透过特性作为参比信号以抵消其他损耗和波动的影响。此 传感器的核心是单片双芯或多芯半导体激光器 |
是否PCT专利 | 是 |
公开日期 | 2007-04-11 |
申请日期 | 2006-10-11 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 200610117006.2 |
专利代理 | 潘振甦 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48367] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张永刚,李爱珍,齐鸣,等. 单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法. CN1945284. 2007-04-11. |
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