| 一次离子交换工艺制备平面集成布拉格波导光栅的方法 | |
| 郝寅雷 ; 吴亚明 ; 赵本刚 | |
| 2005-04-13 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1605893 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通过相毗邻的离子交换窗口扩散形成的条形光波导相互交迭，形成折射率分布带有周期性“褶皱”的“平板光波导”。这种“平板光波导”可以实现对入射光的调制，基于这种光栅的衍射原理，可以制成集成光路中的分插复用器或滤波器。本发明所述方法进一步简化了平面Bragg光栅器件的制作工艺，降低了 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2005-04-13 |
| 申请日期 | 2004-11-05 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200410067932.4 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48085]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝寅雷,吴亚明,赵本刚. 一次离子交换工艺制备平面集成布拉格波导光栅的方法. CN1605893. 2005-04-13. |
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