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	Nanostep Fabrication Using FIB Technology
	Wang, Chen-ying; Yang, Shu-ming; Lin, Qi-jing; Jiang, Zhuang-de
	2013
关键词	Focused Ion Beam (FIB) Depth Nanostep Processing energy
卷号	655-657
期号	[db:dc_citation_issue]
DOI	[db:dc_identifier_doi]
页码	842-846
会议录	ENGINEERING SOLUTIONS FOR MANUFACTURING PROCESSES, PTS 1-3
URL标识	查看原文
ISSN号	1022-6680
WOS记录号	[DB:DC_IDENTIFIER_WOSID]
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3305687
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Wang, Chen-ying,Yang, Shu-ming,Lin, Qi-jing,et al. Nanostep Fabrication Using FIB Technology[C]. 见:.

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