| 退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究 | |
| 王金鹏; 周晨飞; 梁军生; 王大志; 任同群 | |
| 刊名 | 机电工程技术
 |
| 2019 | |
| 卷号 | 48页码:26-28 |
| 关键词 | 薄膜铂热电阻 退火工艺 内部应力 灵敏度 线性度 |
| ISSN号 | 1009-9492 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3229197 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连,116024 2.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连 116024 3.大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,辽宁大连 116024 4.大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,辽宁大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王金鹏,周晨飞,梁军生,等. 退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究[J]. 机电工程技术,2019,48:26-28. |
| APA | 王金鹏,周晨飞,梁军生,王大志,&任同群.(2019).退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究.机电工程技术,48,26-28. |
| MLA | 王金鹏,et al."退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究".机电工程技术 48(2019):26-28. |
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