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	多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文)
	张正元; 温志渝; 徐世六; 张正番; 刘玉奎; 李开成; 黄尚廉
	2003
页码	798-802
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3163843
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张正元,温志渝,徐世六,等. 多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文)[J],2003:798-802.
APA	张正元.,温志渝.,徐世六.,张正番.,刘玉奎.,...&黄尚廉.(2003).多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文).,798-802.
MLA	张正元,et al."多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文)".(2003):798-802.

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