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多晶硅衬底上的RF MEMS开关 RF MEMS Switch on Poly-Silicon Substrate
张正元[1]; 温志渝[2]; 徐世六[3]; 张正番[3]; 刘玉奎[3]; 李开成[3]; 黄尚康[2]
2003
卷号24页码:798-802
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3068571
专题重庆大学
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GB/T 7714
张正元[1],温志渝[2],徐世六[3],等. 多晶硅衬底上的RF MEMS开关 RF MEMS Switch on Poly-Silicon Substrate[J],2003,24:798-802.
APA 张正元[1].,温志渝[2].,徐世六[3].,张正番[3].,刘玉奎[3].,...&黄尚康[2].(2003).多晶硅衬底上的RF MEMS开关 RF MEMS Switch on Poly-Silicon Substrate.,24,798-802.
MLA 张正元[1],et al."多晶硅衬底上的RF MEMS开关 RF MEMS Switch on Poly-Silicon Substrate".24(2003):798-802.
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