| In-plane calibration for AFM | |
| Li, Changsheng; Yang, Shuming; Wang, Chenying; Sun, Lin; Jiang, Zhuangde | |
| 2017 | |
| 关键词 | Calibration method Drift Grating Nanometrology One-dimensional gratings Orthogonality Theoretical errors Traditional calibration |
| 卷号 | 13 |
| 页码 | 185-196 |
| 会议录 | International Journal of Nanomanufacturing
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| URL标识 | 查看原文 |
| ISSN号 | 1746-9392 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2924320 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li, Changsheng,Yang, Shuming,Wang, Chenying,et al. In-plane calibration for AFM[C]. 见:. |
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