CORC  > 西安交通大学
题名基于飞秒激光微加工的三维金属微结构的关键制备技术及其应用研究
作者张弘
答辩日期2018
导师杨青
关键词飞秒激光湿法刻蚀 微流控芯片 金属微固化 微变压器 温控微反应器
学位名称硕士
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内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2916388
专题西安交通大学
推荐引用方式
GB/T 7714
张弘. 基于飞秒激光微加工的三维金属微结构的关键制备技术及其应用研究[D]. 2018.
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