The photoluminescence of SiCN thin films prepared by C+ implantation into alpha-SiNx:H | |
Dong, LJ; Zhang, GB; Xu, PS; Chen, DP; Chen, CO; Liu, YZ; Zhang, X | |
2010 | |
内容类型 | 外文期刊 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/9000] |
专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Dong, LJ,Zhang, GB,Xu, PS,et al. The photoluminescence of SiCN thin films prepared by C+ implantation into alpha-SiNx:H. 2010. |
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