| 嵌入光纤的玻璃板及其制造方法 | |
| 于大全; 孙瑜 | |
| 2011-04-27 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种嵌入光纤的的新型玻璃板结构，以及实现该结构的技术方法。这种带有光纤的玻璃板结构可以实现芯片间高速光信号的垂直传输。形成该结构的方法主要包括：在玻璃基板的特定位置利用激光等工具以瞬态微区加热的方式使玻璃板特定微区软化，然后把光纤对准并插入软化的玻璃中，随着微区位置玻璃的冷却，光纤被嵌入到玻璃中。该制作方法工艺简单成本低廉，解决了玻璃基板打孔困难，填孔工艺复杂的问题。 |
| 公开日期 | 2012-11-20 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/9647]  |
| 专题 | 微电子研究所_系统封装与集成研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于大全,孙瑜. 嵌入光纤的玻璃板及其制造方法. 2011-04-27. |
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