脉冲激光沉积技术对硅衬底上超导铌金属薄膜的制备及特性研究 | |
夏洋; 卢维尔; 彭明娣; 李楠; 赵丽莉; 王桐 | |
刊名 | 材料导报 |
2018-05-01 | |
文献子类 | 期刊论文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19045] |
专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏洋,卢维尔,彭明娣,等. 脉冲激光沉积技术对硅衬底上超导铌金属薄膜的制备及特性研究[J]. 材料导报,2018. |
APA | 夏洋,卢维尔,彭明娣,李楠,赵丽莉,&王桐.(2018).脉冲激光沉积技术对硅衬底上超导铌金属薄膜的制备及特性研究.材料导报. |
MLA | 夏洋,et al."脉冲激光沉积技术对硅衬底上超导铌金属薄膜的制备及特性研究".材料导报 (2018). |
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