Surface Treatment of Flat Panel Display Substrates by a Uniform Large Area Glow Cold Plasma Tunnel at Atmospheric Pressure | |
Wan, J; Jia, XH; Zhao, LL; Wang, S | |
2009 | |
内容类型 | 外文期刊 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8958] |
专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Wan, J,Jia, XH,Zhao, LL,et al. Surface Treatment of Flat Panel Display Substrates by a Uniform Large Area Glow Cold Plasma Tunnel at Atmospheric Pressure. 2009. |
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