题名 | SIC MOSFET 棚氧技术研究与器件研制 |
作者 | 彭朝阳 |
答辩日期 | 2018-05-14 |
文献子类 | 博士 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
导师 | 刘新宇 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18397] |
专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭朝阳. SIC MOSFET 棚氧技术研究与器件研制[D]. 中国科学院大学. 2018. |
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