Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions
Senz, S; Huang, ZP; Shimizu, T; Zhang, Z; Zhang, XX; Lee, W; Geyer, N; Gosele, U
2009
内容类型外文期刊
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/8896]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
Senz, S,Huang, ZP,Shimizu, T,et al. Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions. 2009.
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