Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions | |
Senz, S; Huang, ZP; Shimizu, T; Zhang, Z; Zhang, XX; Lee, W; Geyer, N; Gosele, U | |
2009 | |
内容类型 | 外文期刊 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8896] |
专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Senz, S,Huang, ZP,Shimizu, T,et al. Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions. 2009. |
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