Radiation Effects on Al2O3 Thin Films | |
Zhu HP(朱慧平); Chen X(陈曦); Zheng ZS(郑中山); Li DL(李多力); Gao JT(高见头); Li B(李博); Luo JJ(罗家俊) | |
2018-10-21 | |
内容类型 | 会议论文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19118] |
专题 | 微电子研究所_硅器件与集成研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhu HP,Chen X,Zheng ZS,et al. Radiation Effects on Al2O3 Thin Films[C]. 见:. |
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