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	Optimized optomechanical micro-cantilever array for uncooled infrared Imaging
	Zhang, QC; Chen, DP; Miao, ZY; Xiong, ZM; Guo, ZY; Li, CB; Dong, FL; Jiao, BB; Wu, XP
	2007
内容类型	外文期刊
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/8716]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
推荐引用方式 GB/T 7714	Zhang, QC,Chen, DP,Miao, ZY,et al. Optimized optomechanical micro-cantilever array for uncooled infrared Imaging. 2007.

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