一种微区LIBS等离子体光谱收集系统

	一种微区LIBS等离子体光谱收集系统
	汪为; 孙兰香; 郑黎明
	2019-09-10
著作权人	中国科学院沈阳自动化研究所
国家	中国
文献子类	发明
产权排序	1
英文摘要	本发明属于光学技术领域，特别涉及一种微区LIBS等离子体光谱收集系统。包括调焦致动器、收集支架、聚焦显微物镜、镜筒调整架、收集镜筒、收集光纤及保护氛围罩，其中焦致动器的固定端与激光光路连接，驱动端与收集支架连接，收集支架的下方中心与聚焦显微物镜连接，下方两侧分别与两个镜筒调整架连接，各镜筒调整架内均安装有收集镜筒，收集镜筒相对激光光路倾斜布设，收集光纤与收集镜筒连接，保护氛围罩连接在收集支架的下方、且将聚焦显微物镜和收集镜筒包含在其内部空间内。本发明实现了近距离高效率光谱收集，局部区域氩气保护增强，自动调焦与随动收集等目的。
申请日期	2019-06-19
语种	中文
状态	实审
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/25718]
专题	沈阳自动化研究所_工业控制网络与系统研究室
作者单位	中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	汪为,孙兰香,郑黎明. 一种微区LIBS等离子体光谱收集系统. 2019-09-10.