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	电子束斑的测量方法和设备
	刘鹏 ; 张大成 ; 王玮 ; 田大宇 ; 杨芳 ; 罗葵 ; 戴小涛 ; 李婷 ; 王颖 ; 李静 ; 时广轶
	2014
英文摘要	本发明提出了一种电子束斑的测量方法和设备。所述测量方法包括：准备第一基片，在所述第一基片上形成悬置的光刻胶层，并且在第一基片与光刻胶层相对的另一侧上形成检测窗口；准备第二基片，在所述第二基片上形成背腔结构；将第二基片的背腔结构入口一侧与第一基片的光刻胶一侧固定，并且将检测窗口与背腔结构入口对准；将待测电子束以一定的路径角θ单次扫过检测窗口，对光刻胶层进行背向曝光，其中所述路径角是电子束扫描方向与检测窗口长度方向的夹角；以及对光刻胶进行显影，并且测量光刻胶沿扫描方向的图形长度L，利用下式计算电子束束斑直径d：d＝L·tanθ-W/cosθ。; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/187057]
专题	软件与微电子学院
推荐引用方式 GB/T 7714	刘鹏,张大成,王玮,等. 电子束斑的测量方法和设备. 2014-01-01.

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