场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量

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	场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量
	邓楠 ; 张琦锋 ; 李萍剑 ; 申自勇 ; 侯士敏 ; 吴锦雷
刊名	北京大学学报自然科学版
	2005
关键词	单壁碳纳米管化学气相沉积肖特基势垒场效应晶体管
英文摘要	研究了场效应纳电子晶体管构造过程中金属电极的结构设计，源一漏电极高度、SiO2绝缘层厚度以及金属电极选材等因素对器件性能有关键的影响。在此基础上测量了单壁碳纳米管束的场效应行为，构造成功基于单壁碳纳米管束的场效应晶体管。; 国家重点基础研究发展规划973项目,国家自然科学基金,北京市自然科学基金,教育部博士点基金资助项目; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 5; 769-773; 41
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/425488]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	邓楠,张琦锋,李萍剑,等. 场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量[J]. 北京大学学报自然科学版,2005.
APA	邓楠,张琦锋,李萍剑,申自勇,侯士敏,&吴锦雷.(2005).场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量.北京大学学报自然科学版.
MLA	邓楠,et al."场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量".北京大学学报自然科学版 (2005).