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	一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法
	崔健 ; 闫桂珍 ; 郭中洋 ; 杨振川 ; 郝一龙
	2011
英文摘要	本发明涉及一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法,其包括以下步骤：1)将微机械谐振式器件中的振动拾取结构上的两个差分电极同时连接一振动信号读取装置；2)在微机械谐振式器件中的驱动结构的两个差动驱动电极上分别施加驱动电压VL和VR；3)振动信号读取装置将微机械谐振式器件中的两个差分电极输出的电容变化量读取出来,并将电容变化量转换为电压变化量,输送给滤波器；4)滤波器将步骤3)中得到的电压变化量中的电耦合信号进行滤除,并得到一能够体现所述微机械谐振式器件的谐振频率信息的振动电压信号。本发明能够减小低频段噪声和谐振频率处噪声以及避免驱动电压和驱动力之间出现非线性关系,适用于谐振式微悬臂梁、微谐振...; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/317336]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	崔健,闫桂珍,郭中洋,等. 一种用于微机械谐振式器件的升频驱动控制方法. 2011-01-01.

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