| 基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术 | |
| 金翠云 ; 栗大超 ; 冯亚林 ; 靳世久 ; 曾周末 ; 郝一龙 ; 张大成 | |
| 2003 | |
| 关键词 | 动态测试 微机电系统 模糊图像 谐振器 谐振频率 图像合成 运动测量 机器微视觉 |
| 英文摘要 | 动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用.本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上,基于模糊图像合成技术对MEMS 谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率f及品质因数Q等重要参数进行了测试,并给出了实验结果.; 0 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 其他 |
| 源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/285704]  |
| 专题 | 信息科学技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金翠云,栗大超,冯亚林,等. 基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术. 2003-01-01. |
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