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	电容读出式红外焦平面阵列的热力学分析
	李博翰 ; 于晓梅
	2009
关键词	红外焦平面阵列 位移响应度 热时间常数 噪声等效温差 热力学分析 红外探测器
英文摘要	电容读出式红外探测器由于无需制冷和易于单片集成等优异特性而备受关注。该红外焦平面阵列中的每个像元是一个双材料悬臂梁，他由红外吸收面、双材料支腿、热隔离支腿和锚点组成，双材料支腿和热隔离支腿组成像元的支腿，连接红外吸收面至锚点，如图1。红外吸收面把红外光转换为热量，并传导至双材料支腿，使之发生形变从而改变悬臂梁两极板间距，导致电容发生变化。; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/279138]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	李博翰,于晓梅. 电容读出式红外焦平面阵列的热力学分析. 2009-01-01.

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