一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器

doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.031

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器; A Bulk Micromachined Tunable Elliptic Lowpass Filter
	缪晻 ; 卜景鹏 ; 赵立葳
刊名	传感技术学报
	2008
关键词	射频微机电系统可调谐滤波器椭圆低通滤波器第一传输零点频率移动体硅微机械加工工艺
DOI	10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.031
英文摘要	提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3 dB截止频率Tc.解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变.作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开关的分布加载来实现,并基于微扰法求出器件中心谐振频率及特性的变化规律.本文相应设计了Tc为16 GHz的7阶步进式滤波器.高频有限元全波仿真表明,每加载一个MEMS开关,Tc改变约1.5 GHz,损耗特性则几乎不变.这证明了理论分析方法有较高的准确性,而且器件设计具有数字化调节能力和较出色的微波性能.这种方法也可用于高通和带通滤波器.论文还介绍了器件的体硅微加工流程及MEMS开关的初步加工结果.; 国家自然科学基金; 北京市科技新星计划; 北京市教委科技发展计划; 北京市委组织部北京市优秀人才培养资助个人项目; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 3; 486-489; 21
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/174195]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	缪晻,卜景鹏,赵立葳. 一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器, A Bulk Micromachined Tunable Elliptic Lowpass Filter[J]. 传感技术学报,2008.
APA	缪晻,卜景鹏,&赵立葳.(2008).一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器.传感技术学报.
MLA	缪晻,et al."一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器".传感技术学报 (2008).