微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究

doi:10.3321/j.issn:1000-3290.2006.05.022

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究; On line measurement of maximal torsional strength of micro level structure
	阮勇 ; 郇勇 ; 张大成 ; 张泰华 ; 王阳元
刊名	物理学报
	2006
关键词	阳极键合硅深刻蚀键合强度最大抗扭强度 anodic bonding DRIE bonding strength maximal torsional strength
DOI	10.3321/j.issn:1000-3290.2006.05.022
英文摘要	提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试.实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的矩形其边长从6μm到120μm,并根据实际移动距离计算得出的最大剪切力.并实验实际得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线,以及最大扭转剪切破坏应力与悬臂梁加载距离的关系,并针对60μm×60μm的矩形键合结构进行了加载和位移的重复性实验测量,两次测量结果符合较好.微电子机械系统(microelectromechanical system,MEMS)器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积,为MEMS器件工艺的在...; In the design and fabrication of microelectronic system(MEMS) devices, the process based on silicon is a main technolog which draws great attention of researchers. Bonding technology including silicon to glass and silicon to silicon is fundamental for bulk silicon MEMS devices. For MEMS devices, the bonding area is from the micrometer to millimeter scale, thus traditional methods to test bonding strength are no longer feasible. Measuring the strength at that scale has become the bottle-neck for MEMS development. We first define a new way, with which a series of single crystal cantilever beam was taken to test the maxal shear stress of bonding strength in the micro area. The experiment gives curves of torsional strength versus the bonding area and torsional strength versus the probe movement distance, the designer can use them to determine the bonding area according to the required torque for their MEMS devices.; http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000237522000022&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=8e1609b174ce4e31116a60747a720701 ; SCI(E); EI; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 1; 05; 2234-2240; 55
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/173079]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	阮勇,郇勇,张大成,等. 微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究, On line measurement of maximal torsional strength of micro level structure[J]. 物理学报,2006.
APA	阮勇,郇勇,张大成,张泰华,&王阳元.(2006).微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究.物理学报.
MLA	阮勇,et al."微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究".物理学报 (2006).