体声波梯形滤波器的布局设计方法

	体声波梯形滤波器的布局设计方法
	贾乐; 文数文; 张大鹏; 高杨
刊名	强激光与粒子束
	2018
卷号	30 期号:1 页码:14101
关键词	微电子机械系统体声波滤波器谐振器布局
ISSN号	1001-4322
其他题名	Layout design method for BAW ladder filters
文献子类	Article
英文摘要	为保证滤波器性能,缩小滤波器体积,提高晶圆上的芯片数量,提出一种体声波(BAW)梯形滤波器布局的设计方法。该方法包括11条设计准则和设计流程。11条设计准则限制体声波谐振器(BAWR)的形状、位置,BAWR之间的距离,BAWR与焊盘的距离和互连线。设计流程有7个步骤:(1)根据每个BAWR的有效面积,预设每个BAWR的形状;(2)根据BAW梯形滤波器电路结构,排列BAWR;(3)"压缩"布局;(4)对BAWR切趾、微调和旋转;(5)对BAWR和焊盘布线;(6)检测滤波器布局是否符合设计准则;(7)使用声-电磁联合仿真,验证滤波器布局结果。以10个BAWR串并联而成的5阶BAW梯形滤波器为案例,展示了该方法的设计准则和设计流程。优化后的滤波器布局面积利用率达到了44%。对比未优化的滤波器布局,利用该方法优化后的滤波器布局提高了BAW滤波器的带内插损和带外抑制。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6152467
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/286451]
专题	高能物理研究所_实验物理中心
通讯作者	高杨
作者单位	中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	贾乐,文数文,张大鹏,等. 体声波梯形滤波器的布局设计方法[J]. 强激光与粒子束,2018,30(1):14101.
APA	贾乐,文数文,张大鹏,&高杨.(2018).体声波梯形滤波器的布局设计方法.强激光与粒子束,30(1),14101.
MLA	贾乐,et al."体声波梯形滤波器的布局设计方法".强激光与粒子束 30.1(2018):14101.